Positionierung

Nanometergenaues Positionieren

Nanometergenaues Positionieren

Auf dem Weg zu immer genaueren und flexibleren Systemen bietet ITK nun für die Positioniersysteme der Baureihe PT15 für besonders anspruchsvolle Positionieraufgaben bis in den Nanometerbereich.

PT15-Positioniersystem: modular, zuverlässig, genau

Portal- und Mikroskoptische bilden das Fundament aller Positioniersysteme von ITK. Die in klassischer Gantry-Bauweise ausgeführten Portaltische der Baureihe PT15 sind für die dynamische Positionierung von relativ leichten Prüfsensoren, Werkstücken und Proben vorgesehen. Dabei sind die Einsatzgebiete vielfältig: ob zur Wafer-Inspektion, bei der Materialuntersuchung oder in der klassischen Messtechnik. Der sehr stabile Gantry-Aufbau mit Granit-Basis sorgt dabei für höchste dauerhafte Stabilität und Wiederholgenauigkeit. Die hohe Dynamik verdanken sie insbesondere dem inhouse entwickelten Direktantrieb durch Linearmotoren in X-, Y-, Z-Richtung bei reduzierter Wärmebildung. Eine hohe Positioniergenauigkeit wird gewährleistet durch den Einsatz von robusten und hochpräzisen MR-basierten Längenmesssystemen. Selbst im Einsatz unter erschwerten Bedingungen - zum Beispiel im Wasserbad von Ultraschallprüfungen - funktionieren die Anlagen im 24/7-Betrieb.

Die in verschiedenen Grundausführungen verfügbaren Produkte der Baureihe PT15 decken Anwendungen für die Prüfung von Kleinstabmessungen unter dem Mikroskop bis hin zu Scanning-Systemen mit bis zu 4 Quadratmetern Arbeitsfläche und bis zu acht aktiven Positionierachsen ab. Dank des modularen Aufbaus wird jedes System exakt auf die individuellen Prozessanforderungen abgestimmt und kann optional mit verschiedenen Z-Achsenmodulen einschließlich zweifach- oder vierfach-Z-Verstellung erweitert werden.

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Schneider Electric 2022-2023